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Quantus LP100 Gas Analyzer - Real-time Endpoint and Contamination Detection from 10m Torr to 1 Torr













半導体チップの市場は、さらに手頃、強力、小さい、およびポータブルになってきた携帯電話、ラップトップ、タブレット型コンピュータなどの増え続けている電子的コンテンツを持つ製品によって動かされています。半導体チップを生産するため、とんでもなく小さな電気装置、一つのチップにつき何十億という数が、何度も繰り返される真空プロセスの段階を通して造られます。細かいレイヤーと回路パターンは、慎重にコントトロールされた真空蒸着とエッチングプロセス段階を通して再生産されます。真空プロセスは装置の材料の電気特性を変えるためにも使用されます。技術の進歩によってさらに小さくて強力、および手頃な機器が造られるにつれ、真空ベースのプロセス段階も進歩する必要があります。

INFICONは半導体ツールメーカーのために、製品運用および生産プロセスを改善を行うために特別に設計された残留ガス分析器、RFセンサ、プロセスコントロールソフトウェア、リークディテクタ、および真空計と真空部品を含む、広範囲の高度な計測およびコントロールを行う製品を提供しています。当社は最適化されたプロセス監視、分析、およびコントロールを通して、生産収率およびツールの稼働率を改善するために、非常に特化されたソリューションを半導体機器メーカーに提供しています。






FabGuard Explorerガス分析ソフトウェア紹介
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